掃描電鏡是一種高精度高分辨率的臺式設備，在很多領(lǐng)域都被應用到，從樣品的表面形貌可以獲得多種數(shù)據(jù)，并通過信號處理方法，可以獲得各種圖像、特殊的顯示方法，高分辨率的臺式掃描電鏡不僅可以觀察表面形貌，而且可以分析元件和成分，并通過電子通道模式進行結(jié)晶學分析。選定的面積可以是10米至3米。

那么sem掃描電鏡具體都在哪些領(lǐng)域被應用到呢？今天小編就來為您詳細介紹一下，希望能夠幫助您更好的理解sem掃描電鏡，詳情如下：

① 利用樣品電流，根據(jù)平均原子數(shù)的對比，產(chǎn)生的化學成分相的分布圖像與背面散射電子圖像的暗與暗圖像相反。

②利用俄歇電子定性分析了化學元素在1nm 表面的分布,

③半導體器件研究的特殊應用：

④用二次電子電勢對比圖反映樣品表面的電勢，可以看出樣品表面電勢的大小和分布，特別是用來判斷器件的隱藏開路或隱藏短路。

⑤在晶體結(jié)構(gòu)物相識別的基礎(chǔ)上，利用背散射電子衍射信號進行了晶體結(jié)構(gòu)（晶體中原子的排列），并對晶體取向分布進行了分析。